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申请/专利权人：湖南九山半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于圆柱形制品化学气相沉积的支撑夹具，包括第一支撑组件、第二支撑组件和驱动件，驱动件驱动第二支撑组件升高或下降，以使第一支撑组件与第二支撑组件交替支撑制品时与制品的不同区域接触。具有结构简单、设计巧妙、实现制品涂层全面覆盖的优点。
主权项：1.一种用于化学气相沉积的支撑夹具，其特征在于：包括第一支撑组件（1）、第二支撑组件（2）和驱动件（3），所述驱动件（3）驱动第二支撑组件（2）升高或下降，以使第一支撑组件（1）与第二支撑组件（2）交替支撑制品时与制品的不同区域接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南九山半导体科技有限公司 一种用于化学气相沉积的支撑夹具
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