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申请/专利权人：江苏林洋太阳能有限公司
摘要：本发明涉及TOPCon电池结构及其制备方法，该方法选择单晶硅为基底并正背面处理，正面形成硼掺杂发射极和BSG层，背面形成隧穿氧化层；在隧穿氧化侧层背面依次形成n+poly‑Si层和PSG层；去除BSG层和PSG层，并在n+poly‑Si层上形成隔离导电膜层，正面形成AlOx层；最后正背面钝化层和正背面金属电极。因此，本发明一方采用铝浆替换银浆，并由隔离导电膜层的隔离和接触，有效解决铝浆带来的铝尖刺和对硅基底的腐蚀问题，同时隔离导电膜层引入可以很好的实现电子收集与传导，也可以带来进一步增强背场钝化效果；另一方面采用开槽和烧结方式，有效解决铝浆料金属复合和开路电压降低的难题，降低生产成本。
主权项：1.一种TOPCon电池结构的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：1）选择单晶硅为基底，去除表面的杂质和氧化层后，正面进行制绒形成绒面，背面进行抛光和清洗形成平面；2）正面形成硼掺杂发射极和BSG层；3）基底背面上制备一层隧穿氧化层，在隧穿氧化层的背面制备形成n+poly-Si层，后在n+poly-Si层上形成PSG层；4）去除BSG层和PSG层，并在n+poly-Si层上形成隔离导电膜层，在正面硼掺杂发射极上形成AlOx层；5）分别在AlOx层的正面和隔离导电膜层的背面形成正面钝化层和背面钝化层；6）在背面钝化层上进行开槽，使得隔离导电膜层对应开槽的部分外露，然后采用丝网印刷将铝浆料填平开槽并覆盖至金属区域所对应的背面钝化层表面，接着进行烧结以形成背面金属电极；在正面钝化层印刷浆料烧结后形成正面金属电极，烧结的温度为650~750℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏林洋太阳能有限公司 一种TOPCon电池结构及其制备方法
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