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申请/专利权人：苏州维达奇智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种谐振器及自适应调谐方法，包括：衬底，设置于衬底上的谐振区，环绕谐振区设置的边缘区，以及控制模块；谐振区包括：依次层叠设置的空气凹槽、下电极、压电薄膜层和上电极；边缘区包括：设置于衬底上表面的支撑部，以及设置于支撑部上的反射部；支撑部至少部分与压电薄膜层边缘重叠；反射部的上端高于上电极，且反射部与上电极相邻的一侧设计为凸起的弧形结构。本发明通过划分边缘区和谐振区，并结合控制模块以调控谐振区的振动行为，使得谐振器在工作时能够更集中地利用能量，减少横波的外泄，提高了品质因数，全面优化了谐振器的性能表现。
主权项：1.一种谐振器，包括：衬底，设置于所述衬底上的谐振区，环绕所述谐振区设置的边缘区，以及控制模块，其特征在于：所述谐振区包括：依次层叠设置的空气凹槽、下电极、压电薄膜层和上电极；所述边缘区包括：设置于所述衬底上表面的支撑部，以及设置于所述支撑部上的反射部；所述支撑部至少部分与所述压电薄膜层边缘重叠；所述反射部的上端高于所述上电极，且所述反射部与所述上电极相邻的一侧设计为凸起的弧形结构；所述控制模块，通过调整输出至所述上电极和所述下电极的电压来控制所述谐振区的谐振频率，包括：激励单元，用于对所述上电极和所述下电极施加交变电压；材料模型分析单元，用于控制所述激励单元对待测材料进行预测试，分析输出电压与谐振区振动频率的线性关系，将待测材料分为线性弹性材料或非线性弹性材料；全场测量单元，基于数字图像相关法，对所述谐振区的振动特性进行检测，该振动特性包括：谐振频率和相位响应；振动行为分析单元，根据所述材料模型分析单元为待检测材料的划分，使用相应模型对所述谐振区当前的振动行为进行分析，得到所述谐振区的预期振动特性；误差信号计算单元，将振动行为分析单元输出的预期振动特性和实际的振动特性对比，计算得到误差信号；激励输出计算单元，基于误差信号，使用PID控制算法计算并控制所述激励单元的输出电压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州维达奇智能科技有限公司 一种谐振器及自适应调谐方法
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