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申请/专利权人：常州比太科技有限公司
摘要：本发明涉及硅片边缘钝化技术领域，具体涉及一种EP自动化设备及其使用方法，包括：上料单元，用于通过吸盘吸持硅片输送至前输送单元的载具内；前输送单元，用于将装载有硅片的载具输送至升降输送单元；升降输送单元，两端分别与前输送单元和后输送单元连接；后输送单元，用于将装载有边缘钝化处理后硅片的载具输送至卸料单元；卸料单元，用于通过吸盘将后输送单元的载具内硅片吸持取出；本发明通过设置带有升降架的升降输送单元在传统的钝化作业平面下方建立全自动化的输送平面，以硅片载具整盒为单位进行待钝化硅片和已钝化硅片的自动化运输，同时层叠堆放的硅片聚线为面形成易于钝化的加工面，从而实现硅片的运输钝化一体化。
主权项：1.一种EP自动化设备，其特征在于，包括：上料单元，用于通过吸盘吸持硅片输送至前输送单元的载具内；前输送单元，用于将装载有硅片的载具输送至升降输送单元；升降输送单元，两端分别与前输送单元和后输送单元连接；后输送单元，用于将装载有边缘钝化处理后硅片的载具输送至卸料单元；卸料单元，用于通过吸盘将后输送单元的载具内硅片吸持取出；所述上料单元包括上料机架，所述上料机架横跨设置在所述前输送单元的前端，用于安装吸盘并提供吸盘的滑道；所述升降输送单元包括升降架和辅助输送带，用于将装载有硅片的载具在输送平面和钝化作业平面间进行升降；所述卸料单元包括卸料机架，所述卸料机架横跨设置在所述后输送单元的末端，用于安装吸盘并提供吸盘的滑道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州比太科技有限公司 一种EP自动化设备及其使用方法
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