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申请/专利权人：无锡芯享信息科技有限公司
摘要：本发明涉及光罩盒智能货柜技术，用于解决工作人员在众多智能货柜内部进行对应光罩盒的查找时，人工查找费时费力效率低的问题，具体为一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，包括货柜框架，所述货柜框架外侧壁四个方向上均连接有侧连接板；本发明通过光罩盒放置进入智能货柜内部的货位模组位置处时，货位模组内部的微动行程开关可在光罩盒放入且与之进行接触后，传递信号给智能货柜控制系统，控制系统传递信号给对应位置处的RFID读写器读取光罩盒外侧的贴片标签，读取的信息传递至工控机，使工作人员在进行光罩盒的查找时，仅需在工控机位置处输入对应光罩盒的MaskID就能找到对应光罩盒在智能货柜内部的位置，查找更加的方便。
主权项：1.一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，包括货柜框架6，所述货柜框架6外侧壁四个方向上均连接有侧连接板4，所述货柜框架6前表面一侧连接有前连接板3，所述货柜框架6前表面另一侧转动连接有货柜前门1，所述货柜框架6下表面连接的侧连接板4四个拐角位置处连接有移动轮2，所述前连接板3前表面上方连接有工控机5，其特征在于，所述货柜框架6内侧对应所述前连接板3与所述货柜前门1连接位置处连接有分隔框架，分隔框架外侧壁连接有分隔板10，所述货柜框架6内部对应所述货柜前门1位置处均匀分布有四个分层板9，所述货柜框架6内部对应所述前连接板3位置处均匀分布有两个分层板9，所述货柜框架6后表面两侧转动连接有货柜后门。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡芯享信息科技有限公司 一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜
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