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申请/专利权人：北京瑞思达化工设备有限公司
摘要：本发明属于多晶硅生产技术领域，具体的说是一种多晶硅的旋转床反应器及其生产工艺，包括反应壳体以及开设在反应壳体内部的反应腔，反应腔的内部设置有气体分布器，所述反应壳体的一侧固定安装有换热组件，所述换热组件的一侧活动安装有进气端密封件，通过转动的结构让反应壳体进行转动，气体分布器、中心杆位置不发生变化，进气端密封件和出料端密封件的设置可以让反应壳体在进行转动时，反应腔内部仍旧保持密封，在反应壳体转动时籽晶颗粒间及颗粒与反应腔内壁及其他突出物间有较小的相对运动，既防止反应过程中籽晶颗粒间的粘连，也避免了籽晶颗粒间及颗粒与反应腔内壁及突出物间的磨损，让籽晶更好的沉积变大。
主权项：1.一种多晶硅的旋转床反应器，包括反应壳体1以及开设在反应壳体1内部的反应腔11，所述反应腔11一侧连通设置有出气口3和籽晶进口4，所述反应壳体1的另一侧连通设置有颗粒硅出口7，所述反应腔11的内部中心还设置有中心杆111，所述中心杆111处于反应腔11外侧的一端连通设置有硅烷气进口5和循环氢进口6，所述反应壳体1的内部固定设置有保温层13，反应壳体1的内部设置有卸料系统，成品在卸料系统配合下从颗粒硅出口7处出料，其特征在于：所述反应腔11的内部设置有气体分布器2，所述反应壳体1的一侧固定安装有换热组件14，所述换热组件14的一侧活动安装有进气端密封件16，所述反应壳体1的另一侧安装有导电滑环9，所述导电滑环9的一侧活动安装有出料端密封件15，旋转床反应器安装有支撑架12，通过轴与反应壳体1形成联系相对运动，在转动结构的配合下，所述反应壳体1进行转动，所述出料端密封件15和进气端密封件16用于反应壳体1内气体密封，所述反应壳体1的内部固定安装有多个加热棒17，多个所述的加热棒17位置处于反应腔11的外侧，保温层13位置处于多个所述的加热棒17外侧。
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权利要求：
百度查询： 北京瑞思达化工设备有限公司 一种多晶硅的旋转床反应器及其生产工艺
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