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申请/专利权人：苏州中科重仪半导体材料有限公司
摘要：本发明提供了外延生长装置，涉及半导体材料科学与工程技术领域，旨在解决现有技术或相关技术中半导体晶圆的旋转方式单一的技术问题。外延生长装置包括；固定板；支撑盘可转动地设于固定板上，支撑盘上设置有容纳槽和避让通孔，多个容纳槽环绕避让通孔设置；第一驱动组件设于固定板，用于驱动支撑盘围绕支撑盘的中轴线转动；每一容纳槽内设置有一个储物盘，储物盘用于放置半导体晶圆；转动齿设于避让通孔处，与多个储物盘连接；第二驱动组件设于固定板，用于驱动转动齿转动，以带动多个储物盘围绕各自的中轴线转动；加热器设置在固定板上方，且位于支撑盘的下方。本发明的外延生长装置，储物盘既可以公转的同时，又可以实现自转，加热效果更好。
主权项：1.一种外延生长装置，其特征在于，包括：固定板；支撑盘，可转动地设于所述固定板上，所述支撑盘上设置有多个容纳槽和一个避让通孔，所述避让通孔的中轴线与所述支撑盘的中轴线相同，多个所述容纳槽环绕所述避让通孔设置；第一驱动组件，设于所述固定板，与所述支撑盘连接，用于驱动所述支撑盘围绕所述支撑盘的中轴线转动；储物盘，每一所述容纳槽内设置有一个所述储物盘，所述储物盘用于放置半导体晶圆；转动齿，设于所述避让通孔处，与多个所述储物盘连接；第二驱动组件，设于所述固定板，与所述转动齿连接，用于驱动所述转动齿转动，以带动多个所述储物盘围绕各自的中轴线转动；加热器，设置在所述固定板上方，且位于所述支撑盘的下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州中科重仪半导体材料有限公司 外延生长装置
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