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一种电子级多晶硅破碎装置及破碎方法 

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申请/专利权人:内蒙古大全半导体有限公司

摘要:本发明涉及多晶硅生产制造技术领域,具体公开了一种电子级多晶硅破碎装置及破碎方法,包括升降输送线、硅料箱、颚式破碎机和高纯水水源;在升降输送线上移动放置硅料箱,在升降输送线上方设有颚式破碎机,颚式破碎机的破碎腔活动置于硅料箱内,在硅料箱上端两侧对向开设有进水口与溢流口,高纯水水源与进水口可拆卸连接,溢流口与回收管线连接;通过以上结构使硅棒的破碎过程发生在高纯水中,高纯水阻隔了外界环境内的杂质,降低了杂质侵入硅块的缝隙中的概率,有效的降低了破碎后硅块的杂质含量;在破碎过程中使用高纯水置换,可以降低后期酸洗过程中的刻蚀深度,减少硅块质量损失,提升生产效率。

主权项:1.一种电子级多晶硅破碎装置,其特征在于,包括升降输送线(1)、硅料箱(2)、颚式破碎机(3)和高纯水水源;在升降输送线(1)上移动放置硅料箱(2),硅料箱(2)顶部开口,在升降输送线(1)上方设有颚式破碎机(3),颚式破碎机(3)的出料口置于升降输送线(1)的剪式升降台(102)的上方,颚式破碎机(3)的破碎腔活动置于硅料箱(2)内,在硅料箱(2)上端两侧对向开设有进水口(201)与溢流口(202),高纯水水源与进水口(201)可拆卸连接,溢流口(202)与回收管线连接。

全文数据:

权利要求:

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