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申请/专利权人：应用材料公司

摘要：描述一种辊装置100，所述辊装置用于导向卷材200并且用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与辊装置接触的卷材200的温度。辊装置包含辊装置100的曲面101，用于接触卷材200，其中曲面101包含卷材导向区域103。辊装置进一步包含在曲面101中的气体出口104的组和气体分配系统105，所述气体分配系统用于选择性地提供气流至气体出口104的第一子组和选择性地避免气体流至气体出口104的第二子组。辊装置进一步包含驱动单元110，用于旋转曲面101，其中曲面101适用于导引卷材200在曲面旋转时的移动。

主权项：1.一种辊装置100，用于导向卷材200，并用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与所述辊装置接触的所述卷材200的温度，所述辊装置100包含：温度调整系统130，用于调整所述辊装置100的温度；辊装置100的曲面101，用于面对并接触所述卷材200，其中所述曲面101是绕着所述辊装置的轴102可旋转的，并且所述曲面101包含卷材导向区域103；气体出口104的组，设置于所述曲面101中并适用于释放气流；气体分配系统105，用于选择性地提供所述气流至所述气体出口104的第一子组，并选择性地避免气体流动至所述气体出口104的第二子组；其中，所述气体出口的所述第一子组由在所述卷材导向区域103中的至少一个气体出口组成，并且所述气体出口的所述第二子组由在所述卷材导向区域103之外的至少一个气体出口组成；其中，所述气体分配系统105包含：气源108；和单独的气体通道107，所述单独的气体通道107与所述气体出口104流体连通，所述单独的气体通道107适于通过所述辊装置100的旋转而选择性地连接所述气源108至所述气体出口104的所述第一子组，并且适于通过所述辊装置100的旋转而选择性地使所述气源108不连接至所述气体出口104的所述第二子组；驱动单元110，用于旋转所述曲面101，其中所述曲面101在旋转时适于引导所述卷材200的移动；和真空产生系统111，通过所述辊装置100的旋转而选择性地可连接至所述单独的气体通道107，以用于经由所述气体出口的组中的一个或多个所述气体出口104选择性地提供真空；其中所述辊装置100的所述曲面101具有多个区段，每个区段包含单独的静电吸盘砖，并且每个单独的静电吸盘砖经配置为提供吸引力至所述卷材200；其中每个单独的静电吸盘砖被控制为基于所述静电吸盘砖相对于所述气体分配系统105的所述气源108的位置和所述静电吸盘砖相对于所述真空产生系统111的位置而操作。

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权利要求：

百度查询： 应用材料公司 辊装置及其用法和用于控制卷材温度的方法