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申请/专利权人：四川芯音科技有限公司
摘要：本发明涉及传感器技术领域，提出了一种MEMS高精度液位检测传感器，通过构建具有差分电容结构对的MEMS压敏结构，利用差分电容结构对形成的电容电路感应目标位置沿重力方向的液压，获得具有相反相位的第一检测电容信号和第二检测电容信号，再通过电容电压转换和差分放大来计算检测电压信号，由此，通过相反相位的信号叠加抵消，能够有效消除检测信号中的噪声和偏差，提升了液位检测的精确度。同时，能够根据频率输出需求调整检测电压信号的增益，适用范围广，还能够输出脉冲频率调制信号作为液位检测的电信号，提高了检测信号的可用性。
主权项：1.一种MEMS高精度液位检测传感器，其特征在于，包括：MEMS压敏结构，所述MEMS压敏结构包括用于构成电容电路的差分电容结构对，被配置为感应目标位置沿重力方向的液压，生成相位相反的第一检测电容信号和第二检测电容信号；电容电压转换模块，所述电容电压转换模块被配置为对所述第一检测电容信号和所述第二检测电容信号进行电容电压转换，获得第一电压信号和第二电压信号，并基于所述第一电压信号和所述第二电压信号进行差分放大，获得检测电压信号；自动增益控制模块，所述自动增益控制模块被配置为根据频率输出需求，将所述检测电压信号进行增益放大的动态调整；信号输出模块，所述信号输出模块被配置为将增益放大后的检测电压信号转换为脉冲频率调制信号进行输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川芯音科技有限公司 一种MEMS高精度液位检测传感器
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