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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要：一种电容式微机械超声换能器及超声换能装置。电容式微机械超声换能器包括：基底、设置在基底上的驱动结构层，以及设置在驱动结构层远离基底一侧的超声单元；驱动结构层包括多个驱动电路；超声单元包括沿远离基底方向依次设置的第一电极和振动膜层，在第一电极和振动膜层之间设置有空腔，空腔在基底上的正投影位于第一电极在基底上的正投影的范围内；其中，超声单元还包括与第一电极同层设置的延伸部和第一连接部，延伸部设置为连接第一电极和第一连接部；第一连接部通过过孔与驱动电路连接。
主权项：1.一种电容式微机械超声换能器，其特征在于，包括：基底、设置在所述基底上的驱动结构层，以及设置在所述驱动结构层远离所述基底一侧的超声单元；所述驱动结构层包括多个驱动电路；所述超声单元包括沿远离所述基底方向依次设置的第一电极和振动膜层，在所述第一电极和所述振动膜层之间设置有空腔，所述空腔在所述基底上的正投影位于所述第一电极在所述基底上的正投影的范围内；其中，所述超声单元还包括与所述第一电极同层设置的延伸部和第一连接部，所述延伸部设置为连接所述第一电极和所述第一连接部；所述第一连接部通过过孔与所述驱动电路连接。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 电容式微机械超声换能器及超声换能装置
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