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申请/专利权人：北京子牛亦东科技有限公司
摘要：本申请涉及温度检测领域，公开了一种温度检测装置、温度控制装置和晶圆处理装置，该装置包括：静电吸盘，包括吸盘本体和温度感应层，温度感应层设置于吸盘本体的内部；温度感应层包括多个分布在不同位置的温感单元；温度检测模块，与温感单元连接，用于向温感单元提供第一检测信号，并根据从温感单元检测到的第二检测信号，确定温感单元对应位置的温度。设置在静电吸盘本体内部的温度感应层包括多个分布在不同位置的温感单元，其测量速度更快，并且体积小，从而可以增加静电吸盘的测温点数量，提高温度测量的全面性；根据第二检测信号确定温感单元对应位置的温度，可以获取更准确的用于确定温度的信号，从而增加温度检测的准确性。
主权项：1.一种温度检测装置，其特征在于，包括：静电吸盘，包括吸盘本体和温度感应层，所述温度感应层设置于所述吸盘本体的内部；所述温度感应层包括多个分布在不同位置的温感单元；温度检测模块，与所述温感单元连接，用于向所述温感单元提供第一检测信号，并根据从所述温感单元检测到的第二检测信号，确定所述温感单元对应位置的温度；所述静电吸盘还包括与所述温感单元对应的连接桥，所述连接桥的一端与所述温感单元连接，另一端裸露在所述吸盘本体的外侧，所述温度检测模块通过所述连接桥与所述温感单元连接；所述温度检测模块包括多个电流供应单元和多个电压检测单元；所述电流供应单元与所述连接桥连接，并用于向所述温感单元提供所述第一检测信号，所述第一检测信号为电流信号；所述电压检测单元与所述连接桥连接，并用于检测所述温感单元两端的所述第二检测信号，所述第二检测信号为电压信号；温感单元的一端分别与一个电流供应单元和一个电压检测单元相连接，温感单元的另一端分别与另一个电流供应单元和另一个电压检测单元相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 温度检测装置、温度控制装置和晶圆处理装置
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