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申请/专利权人：上海申芯开悦半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种排废系统，包括防溅杯，所述防溅杯底壁上贯通设有排废口，排废口外侧设有清洗盒；所述清洗盒内设有喷洒机构，所述喷洒机构包括内进液管与外安装管，内进液管上端伸出外安装管设有端头，端头与外安装管之间对应排废口内壁设有喷洒口，所述内进液管侧壁上部与喷洒口贯通连接；所述内进液管下端贯通连接有供液通道，供液通道另一侧贯通清洗盒侧壁设有进液口。本实用新型设计新颖，结构紧凑，保证了对排废口内化学废品的良好去除效果，并且能使排废腔体与工艺腔体隔绝，结构简洁，有效的优化了涂胶显影机中的排废系统设计。
主权项：1.一种排废系统，其特征在于，包括防溅杯1，所述防溅杯1底壁上贯通设有排废口12，排废口12外侧设有清洗盒2；所述清洗盒2内设有喷洒机构3，所述喷洒机构3包括内进液管31与外安装管32，内进液管31上端伸出外安装管32设有端头311，端头311与外安装管32之间对应排废口12内壁设有喷洒口34，所述内进液管31侧壁上部与喷洒口34贯通连接；所述内进液管31下端贯通连接有供液通道22，供液通道22另一侧贯通清洗盒侧壁设有进液口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海申芯开悦半导体科技有限公司 一种排废系统
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