龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡圆方半导体测试有限公司
摘要：本申请提供了一种晶圆修调机吹气装置，属于晶圆修调辅助设备技术领域。该晶圆修调机吹气装置包括有探针台，所述探针台上设置有晶圆，还包括有制氮机构和软管，所述探针台上安装有底座，所述底座上设置有气流量调整机构和旋转机构，所述旋转机构上设置有伸缩机构，所述伸缩机构前端设置有出气嘴，所述出气嘴通过所述软管和所述气流量调整机构与所述制氮机构连通。在该申请中：探针台在测试时，通过测试数据判断需要修调的位置，然后控制旋转机构和伸缩机构，将出气嘴移动到对应的针卡上方进行吹氮气以此来控制氧化的几率，可以有效减少人工磨针，机台的有效工时短，人员不足等一系列问题的发生。
主权项：1.一种晶圆修调机吹气装置，包括有探针台10，所述探针台10上设置有晶圆20，其特征在于，还包括有制氮机构30和软管40，所述探针台10上安装有底座50，所述底座50上设置有气流量调整机构60和旋转机构70，所述旋转机构70上设置有伸缩机构80，所述伸缩机构80前端设置有出气嘴90，所述出气嘴90通过所述软管40和所述气流量调整机构60与所述制氮机构30连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡圆方半导体测试有限公司 一种晶圆修调机吹气装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号