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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开一种硬脆材料原位离子注入改性‑切削去除‑激光退火一体的超精密加工方法及装置，属于硬脆材料超精密加工技术领域。本发明包括以下步骤：根据待加工硬脆材料的类型，确定离子类型、切削参数、离子注入能量和剂量，选择最优参数组合注入待加工硬脆材料，实现对待加工硬脆材料改性；通过超精密切削的方式去除离子注入产生的改性层和部分过渡层材料；通过调控激光参数精准控制损伤层材料的熔融及再结晶过程，诱导熔融区材料生成与基体材料一致的晶体结构，完成硬脆材料的超精密加工。本发明通过将离子注入改性、超精密切削、激光修整系统集成的方式，避免了重复装夹、加工缺陷定位过程，简化了工艺流程，提升了效率和加工精度。
主权项：1.一种硬脆材料原位离子注入改性-切削去除-激光退火一体的超精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1根据待加工硬脆材料选择与之匹配的离子类型及切削参数，并进一步确定离子注入能量和剂量，选择最优参数组合注入待加工硬脆材料，实现对待加工硬脆材料改性；2通过超精密切削的方式去除离子注入产生的改性层和部分过渡层材料；3通过调控激光参数精准控制损伤层材料的熔融及再结晶过程，诱导熔融区材料生成与基体材料一致的晶体结构，完成硬脆材料的超精密加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种硬脆材料原位离子注入改性-切削去除-激光退火一体的超精密加工方法及装置
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