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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：一种具有可编程界面的仿电路可编程微流控复合装置，包括：由下而上依次设置的基底层、二元阀控制层、流道层、腔室层和薄膜层，其中：二元阀控制层与基底层之间、流道层与腔室层之间、腔室层与薄膜层之间均采用等离子体表面处理并精准键合在一起，腔室层与流道层之间对应空腔和流道的位置设有通孔，通过二元阀控制层的二元阀的组合阵列将气体送入所选的任一流道，实现单独控制。本发明采用类似于大规模电子集成电路的微流控集成LSI技术以及多层软光刻工艺，达到可以精心编程界面形貌路径和梯度的效果，可实时编程，以实现精准的液滴操控，具有精准操控液滴、可编程的灵活性强、高度集成，操作简单、响应速度快等优点。
主权项：1.一种具有可编程界面的仿电路可编程微流控复合装置，其特征在于，包括：由下而上依次设置的基底层、二元阀控制层、流道层、腔室层和薄膜层，其中：二元阀控制层与基底层之间、流道层与腔室层之间、腔室层与薄膜层之间均采用等离子体表面处理并精准键合在一起，腔室层与流道层之间对应空腔和流道的位置设有通孔，通过二元阀控制层的二元阀的组合阵列将气体送入所选的任一流道，实现各个单元独立控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 具有可编程界面的仿电路可编程微流控复合装置
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