龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：罗姆股份有限公司
摘要：本揭露涉及一种MEMS元件及MEMS元件的制造方法。本揭露的课题在于提供一种能够抑制零点偏移的MEMS元件。本揭露的MEMS元件具备元件晶圆、覆盖晶圆及接合层，所述元件晶圆具有：元件衬底，具有第1主面及第2主面，且具有从第1主面朝向一侧凹陷的空腔；传感器部，位于空腔内，利用单一的锚定部与元件衬底机械连接并且电绝缘；以及元件配线，电连接于传感器部；所述覆盖晶圆具有从第1主面侧与元件晶圆对向的覆盖衬底、及与元件配线电导通的覆盖配线；所述接合层将元件晶圆与覆盖晶圆接合；且元件配线直接接合于接合层，经由接合层而与覆盖配线电导通。
主权项：1.一种MEMS元件，具备元件晶圆、覆盖晶圆及接合层，所述元件晶圆具有：元件衬底，具有第1主面及与所述第1主面为相反侧的第2主面且具有向从所述第1主面朝向第2主面的第1方向凹陷的空腔；传感器部，位于所述空腔内，利用单一的锚定部与所述元件衬底机械连接并且电绝缘；以及元件配线，电连接于所述传感器部；所述覆盖晶圆具有从所述第1主面侧与所述元件晶圆对向的覆盖衬底、及与所述元件配线电导通的覆盖配线；所述接合层将所述元件晶圆与所述覆盖晶圆接合；且所述元件配线直接接合于所述接合层，经由所述接合层而与所述覆盖配线电导通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗姆股份有限公司 MEMS元件及MEMS元件的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号