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申请/专利权人：吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
摘要：本发明涉及一种供液装置。该供液装置包括：储液组件，包括用于储存药液的药液桶；气动泵，气动泵的进液口通过第一管路与药液桶连通；及气液分离罐，气液分离罐的进液口通过第二管路与气动泵的出液口连通，气液分离罐的出液口连接有供液管路。如此，在气动泵的泵送作用下，药液桶内的药液通过第一管路、气动泵和第二管路进入到气液分离罐内进行气液分离，以排除药液内的气泡。经过气液分离之后的药液通过供液管路添加至工艺槽，从而确保添加至工艺槽内的药液不存在气泡，一方面避免对流量计的检测精度造成不良影响，以确保工艺槽内的药液配比满足工艺要求；另一方面确保工艺槽内不会产生泡沫，有利于提高对晶圆表面进行蚀刻的均匀性。
主权项：1.一种供液装置，其特征在于，包括：储液组件10，包括用于储存药液的药液桶11；气动泵20，所述气动泵20的进液口通过第一管路a1与所述药液桶11连通；及气液分离罐30，所述气液分离罐30的进液口通过第二管路a2与所述气动泵20的出液口连通，所述气液分离罐30的出液口连接有供液管路a4。
全文数据：
权利要求：
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