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申请/专利权人：山东创瑞激光科技有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体气柜泄漏检测装置，涉及气柜检测技术领域，包括特气柜，所述特气柜的底部开设有安装槽。通过电机、驱动齿轮相配合为调节机构提供驱动力，接收到驱动力的调节机构起到调节特气柜输气管路内径的作用，当管路内部发生收窄后，这种结构使得泄漏的特种气体从较大的空间进入较小的空间时，流速加快、气压减小并发生聚集，从而放大了泄漏的特征，方便了被气压传感器、气体传感器和气流传感器进行捕捉并通过信号处理器将得到的电信号发送给特气柜后启动爆闪灯和蜂鸣器发出声光警报，以提醒工作人员及时处理，避免发生安全隐患，整个系统结构简单，实用性高，能够有效地监测和响应特种气体的泄漏情况。
主权项：1.一种半导体气柜泄漏检测装置，包括特气柜（1），其特征在于：所述特气柜（1）的底部开设有安装槽（13），所述安装槽（13）的内部设置有缓冲机构（2），所述特气柜（1）的顶部设置有连通机构（3），所述连通机构（3）的顶部设置有容纳壳（4），所述容纳壳（4）的顶部固定连接有安装盖（41），所述安装盖（41）的顶部开设有圆形槽（42），所述容纳壳（4）的内部设置有调节机构（5），所述调节机构（5）的顶部设置有检测机构（6），所述检测机构（6）的外部设置有测试机构（7）；所述检测机构（6）包括输送管（601），所述输送管（601）的外表面靠近底部的位置安装有信号处理器（602），所述输送管（601）的内表壁靠近底部的位置设置有气压传感器（603）、气体传感器（604）和气流传感器（605），且气压传感器（603）、气体传感器（604）和气流传感器（605）和信号处理器（602）通过电信号连接。
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权利要求：
百度查询： 山东创瑞激光科技有限公司 一种半导体气柜泄漏检测装置
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