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申请/专利权人：济宁市质量计量检验检测研究院(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心、济宁市纤维质量监测中心)
摘要：本发明涉及扫描电镜测试系统技术领域，具体公开了一种扫描电镜用高温测试系统。通过对样品表面温度、加热元件温度以及测试环境温度以及样品表面平均温度、加热元件平均温度以及测试环境平均温度的综合分析，结合样品表面温度和加热元件温度的相对偏差程度以及测试环境温度和样品表面温度的相对偏差程度，从而能够对扫描电镜的测试装置在运行时的温度均匀性、热稳定性以及环境适应性进行分析评估，在很大程度上对扫描电镜的测试装置在运行时的温度均匀性、热稳定性以及环境适应性问题进行及时响应。
主权项：1.一种扫描电镜用高温测试系统，其特征在于：包括测试参数获取模块、温度状态分析模块、样品损伤分析模块、性能状态分析模块、运行故障评估模块和数据库；测试参数获取模块，用于对测试过程中对应各测试时段中的温度参数、缺陷参数和力学参数进行数据的实时监测获取，得到测试过程中对应各测试时段中的温度参数、缺陷参数和力学参数；温度状态分析模块，用于对测试过程中对应各测试时段中的温度参数进行计算分析，得到测试过程中对应各测试时段中的温度状态系数；样品损伤分析模块，用于对测试过程中对应各测试时段中的缺陷参数进行计算分析，得到测试过程中对应各测试时段中的综合损伤指数；性能状态分析模块，用于对测试过程中对应各测试时段中的力学参数进行数据分析，得到测试过程中对应各测试时段中的测试状态系数；运行故障评估模块，用于对测试过程中对应各测试时段中的温度状态系数、综合损伤指数以及测试状态系数进行评估分析，生成测试过程中对应各测试时段中的测试装置运行状态信号；数据库，用于存储样品在测试过程中对应各测试时段中的温度参数、缺陷参数和力学参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 济宁市质量计量检验检测研究院(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心、济宁市纤维质量监测中心) 一种扫描电镜用高温测试系统
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