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申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：本发明的第一目的在于提供能够与设置环境温度无关地以低成本使测定光路长度与参照光路长度高精度地一致的三维形状测定装置以及三维形状测定装置的参照面位置调整方法，第二目的在于提供能够切换基于WLI方式的被测定面的三维形状测定与基于FV方式的被测定面的三维形状测定的三维形状测定装置以及三维形状测定装置的测定模式切换方法。为了达成第一目的，具备根据温度变化而使参照光路长度变化的保持件24以及将保持件24的温度调整为目标温度的温度调整部26。为了达成第二目的，具备调整保持件24的温度的温度调整部26以及控制温度调整部26而能够选择性地切换为使参照光路长度与测定光路长度一致的第一测定模式以及与测定光路长度不同的第二测定模式的温度控制部100。
主权项：1.一种三维形状测定装置，其中，所述三维形状测定装置具备：光源部，其出射作为白色光的测定光；干涉部，其从由所述光源部出射的所述测定光将所述测定光的一部分分割为参照光，将所述测定光向被测定面出射并且将所述参照光向参照面出射，而生成从所述被测定面返回的所述测定光与从所述参照面返回的所述参照光的干涉光；保持件，其收纳所述干涉部及所述参照面，且所述保持件由根据温度变化而可逆地热变形的材料形成，并根据所述温度变化而使作为所述干涉部与所述参照面之间的所述参照光的光路长度的参照光路长度变化；以及温度调整部，其在将所述干涉部与所述被测定面之间的所述测定光的光路长度设为测定光路长度的情况下，将所述保持件的温度调整为所述参照光路长度与所述测定光路长度一致的目标温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东京精密 三维形状测定装置、三维形状测定装置的参照面位置调整方法以及三维形状测定装置的测定模式切换方法
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