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申请/专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
摘要：本申请涉及半导体技术领域，公开了ICP设备特气管路漏点检测方法及装置。该方法包括：使用真空规连接真空泵和泵前级管的第一端，其中，泵前级管的第二端连接ICP设备的腔体的第一端，腔体的第二端连接腔体前级管的第一端；在ICP设备正常工作时，测量腔体前级管、腔体和泵前级管组成的第一管路的第一漏率，测量腔体和泵前级管组成的第二管路的第二漏率，测量泵前级管的第三漏率；在ICP设备出现漏点时，分别测量第一、二、三管路对应的第四、五、六漏率；根据测量得到的漏率数据计算预测漏点管路；将第一气体通入预测漏点管路，在预测漏点管路的管路连接件处设置第一试纸，根据第一试纸的颜色变化判断管路漏点位置，得到漏点检测结果。
主权项：1.一种ICP设备特气管路漏点检测方法，其特征在于，包括：使用真空规连接真空泵和泵前级管的第一端，其中，所述泵前级管的第二端连接于ICP设备的腔体的第一端，所述腔体的第二端连接于腔体前级管的第一端；在所述ICP设备正常工作时，单独测量所述腔体前级管、所述腔体和所述泵前级管组成的第一管路的第一漏率，单独测量所述腔体和所述泵前级管组成的第二管路的第二漏率，单独测量所述泵前级管的第三漏率；在所述ICP设备出现漏点时，单独测量所述第一管路的第四漏率，单独测量所述第二管路的第五漏率，单独测量所述第三管路的第六漏率；根据所述第一漏率、所述第二漏率、所述第三漏率、所述第四漏率、所述第五漏率和所述第六漏率计算得到所述ICP设备的预测漏点管路；将预设第一气体通入所述预测漏点管路，并在所述预测漏点管路的管路连接件处对应设置第一试纸，根据所述第一试纸的颜色变化判断管路漏点位置，得到所述ICP设备的特气管路漏点检测结果。
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权利要求：
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