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基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置及其应用方法 

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申请/专利权人:中国人民解放军国防科技大学

摘要:本发明公开了一种基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置及其应用方法,本发明装置包括脉冲离子源、掩膜板和被加工工件,脉冲离子源发射的脉冲离子束流经过掩膜板上的图案赋予形状后轰击到被加工工件的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板上的图案的转移加工;本发明应用方法包括分别将掩膜板和被加工工件安装到机床上;控制脉冲离子源发射脉冲离子束流,使得发射的脉冲离子束流经过掩膜板上的图案赋予形状后轰击到被加工工件的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板上的图案的转移加工。本发明旨在实现基于脉冲离子束的原子深度图像转移,解决离子束技术加工效率不足,反应离子刻蚀(RIE)技术加工分辨率不足的问题。

主权项:1.一种基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置,其特征在于,包括脉冲离子源(1)、掩膜板(2)和被加工工件(3),所述脉冲离子源(1)发射的脉冲离子束流经过掩膜板(2)上的图案赋予形状后轰击到被加工工件(3)的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板(2)上的图案的转移加工。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国人民解放军国防科技大学 基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置及其应用方法

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