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申请/专利权人：龙鳞(深圳)新材料科技有限公司
摘要：本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。
主权项：1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片4、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；所述通断控制组件包括静触端1、动触端2和驱动件，两个所述静触端1均与所述射频电极片4连接，且两个所述动触端2分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端2均能与所述射频电极片4连接，且两个所述静触端1分别与所述第一电极和第二电极连接；所述动触端2具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端2连接，以驱动所述动触端2在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端2位于所述第一位置时，所述动触端2与所述静触端1连接，当所述动触端2位于所述第二位置时，所述动触端2与所述静触端1分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 龙鳞(深圳)新材料科技有限公司 PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置
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