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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的衬底搬送方法。2个处理区块不以堆积的方式配置，第1处理区块、ID区块、第2处理区块在水平方向上呈直线状连结。因此，能够抑制高度并增加处理层的个数。第1处理区块及第2处理区块分别直接连结于ID区块。因此，能够抑制通过处理区块却不进行衬底处理的步骤，由此，能够防止产能降低。另外，将2个处理区块均能够搬送衬底W的衬底缓冲区配置在2个处理区块的中间，因此能够减少衬底处理装置的占据面积。
主权项：1.一种衬底处理装置，其特征在于，具备：移载传送区块，设置着用于载置能够收纳衬底的载体的载体载置台；第1处理区块；及第2处理区块；所述第1处理区块、所述移载传送区块及所述第2处理区块以该顺序在水平方向上呈直线状连结，所述移载传送区块在内部具备载置多个衬底的衬底缓冲区，所述衬底缓冲区配置在所述第1处理区块与所述第2处理区块的中间，所述衬底缓冲区具有配置在上下方向的多个衬底载置部，所述多个衬底载置部各自以能够载置所述衬底的方式构成，所述第1处理区块具有第1搬送机构，所述第2处理区块具有第2搬送机构，所述移载传送区块从载置在所述载体载置台的载体取出衬底，搬送到所述衬底缓冲区的所述多个衬底载置部，所述第1处理区块利用所述第1搬送机构从所述多个衬底载置部接收衬底，对接收的衬底进行第1处理，将进行过所述第1处理的衬底利用所述第1搬送机构搬送到所述多个衬底载置部，所述第2处理区块利用所述第2搬送机构从所述多个衬底载置部接收衬底，对接收的衬底进行第2处理，将进行过所述第2处理的衬底利用所述第2搬送机构搬送到所述多个衬底载置部，所述移载传送区块将从所述第1处理区块及所述第2处理区块中的至少一者搬送来的衬底从所述多个衬底载置部送回载置于所述载体载置台的所述载体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理装置及衬底搬送方法
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