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申请/专利权人：FEI公司
摘要：用于带电粒子显微镜的再入式气体系统。本文公开了用于再入式流体递送技术的设备和系统。实例系统至少包含在第一电势与第二电势之间延伸的流体递送管道，其中所述流体递送管道形成为倾斜的螺旋状，使得流动穿过所述流体递送管道的流体经历贯穿所述流体递送管道的每一绕组的电场反转。
主权项：1.一种流体递送系统，其包括：在第一电势与第二电势之间延伸的流体递送管道，其中所述流体递送管道形成为倾斜的螺旋状，使得流动穿过所述流体递送管道的流体经历贯穿所述流体递送管道的每个绕组的电场反转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于带电粒子显微镜的再入式气体系统
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