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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置及方法，所述原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置包括：脉冲激光系统，所述脉冲激光系统用于产生脉冲探测激光；信号调制系统，所述信号调制系统用于产生调制驱动器的第一调制信号和调制电源模块的第二调制信号；拉曼光谱系统，所述拉曼光谱系统用于探测和处理拉曼散射信号；样品台，所述样品台用于放置待测器件。本发明可解决现有拉曼测温装置无法实现对于工作在高频状态下电子器件时间分辨的温度分布测量的技术难题，能够实现原位测量脉冲工作模式下电子器件的温度分布。
主权项：1.一种原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置，其特征在于，包括：脉冲激光系统100，所述脉冲激光系统100包括用于产生连续探测激光的激光器101、用于将连续探测激光调制为脉冲探测激光的光调制器102和用于驱动光调制器102的驱动器103；所述脉冲激光系统100用于产生脉冲探测激光；信号调制系统200，所述信号调制系统200包括用于产生调制信号的双通道信号发生器201和用于驱动待测器件的电源模块202；所述信号调制系统200用于产生调制驱动器103的第一调制信号和调制电源模块202的第二调制信号；拉曼光谱系统300，所述拉曼光谱系统300包括用于调整脉冲探测激光光路的平面反射镜301、用于透过脉冲探测激光和截止反射回来的脉冲探测激光进入光路的单向透光镜302、用于透过脉冲探测激光和反射散射信号的选择透过反射镜303、用于聚焦脉冲探测激光和收集拉曼散射信号的物镜304、用于过滤脉冲探测激光的截止滤波片305、用于过滤瑞利散射信号的陷波滤波片306、用于将拉曼散射信号分光的光谱仪307以及将分光后的光信号转换为电信号成像的光电成像装置308；样品台，所述样品台用于放置待测器件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 原位测量脉冲工作模式下电子器件温度分布的装置及方法
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