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低热容量微辐射热计及相关制造方法 

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申请/专利权人:丽瑞德公司

摘要:本发明涉及一种红外成像微辐射热计10a,其集成有通过支撑臂14a‑14h以在基底上悬架的方式组装的膜11a。该膜11a包括:能够捕获红外辐射的吸收材料13a;连接到吸收材料13a并能够对由吸收材料13a捕获的红外辐射进行转换的测温材料12;测温材料12被配置于小于膜11a的表面积0.4倍的表面积上,并且至少一个中央介电层被配置在吸收材料13a和测温材料12之间。在膜11a的没有测温材料12的部分中,在吸收材料13a中和在至少一个介电层中形成凹部20。

主权项:1.一种红外成像微辐射热计10a-10c,其集成有通过支撑臂14a-14h以在基底30上方悬架的方式组装的膜,所述膜包括:·能够捕获红外辐射的吸收材料;·连接到所述吸收材料的测温材料12,所述测温材料12能够对由所述吸收材料捕获的所述红外辐射进行转换;和·至少一个中央介电层18,其配置在所述吸收材料和所述测温材料12之间;其特征在于:·所述测温材料12沉积在所述吸收材料上方,·所述测温材料12的表面积小于所述膜的表面积的0.4倍,并且·在所述膜的没有所述测温材料12的区域中,在所述吸收材料中和在所述至少一个中央介电层18中形成有凹部20。

全文数据:

权利要求:

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