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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料有限责任公司
摘要：由具有两个2‑萘酚部分的单体形成的可固化均聚物在半导体制造工艺中可用作底层。
主权项：1.一种方法，其包括：a提供电子装置衬底；b将包含一种或多种可固化化合物的涂层组合物层涂覆到所述电子装置衬底的表面上，其中所述一种或多种可固化化合物是包含具有式1的重复单元的聚合物 其中Z是-O-C5-60-亚芳基-O-m2；每个R1和每个R2独立地选自H、OR、C1-30-烃基、取代的C1-30-烃基、-C＝O-O-R5、SR、S＝OR、S＝O2R、NR5R6、以及NR7C＝OR5；一个R1和一个R2可以与它们所附接的原子一起形成5元至6元环；R选自H、C1-20-烷基、C5-30-芳基、以及C2-20-不饱和的脂肪族部分；R5和R6独立地是C1-20-烷基或C5-30-芳基；R7是H或R6；R5和R6可以与它们所附接的原子一起形成5元至6元环；a1和a2各自是从0至5；m2＝1至100；并且n＝2至1000；其中c将所述可固化化合物的层固化以形成底层；d将光致抗蚀剂层涂覆在所述底层上；e通过掩模将所述光致抗蚀剂层暴露于光化辐射；f使暴露的光致抗蚀剂层显影以形成抗蚀剂图案；以及g将所述图案转移至所述底层以暴露所述电子装置衬底的一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗门哈斯电子材料有限责任公司 芳香族底层
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