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一种检测划片刀侧弯变形的装置 

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申请/专利权人:北京唯捷创芯精测科技有限责任公司

摘要:本实用新型涉及集成电路检测领域,具体提供了一种检测划片刀侧弯变形的装置,包括:涡电流传感器,设置于划片机刀体架外侧,包括探头和前置处理器,探头和前置处理器之间电连接;探头正对划片刀的刀刃面区域,前置处理器用于将探头的电信号转换为距离信号;显示器和报警器,分别与前置处理器的输出电连接。本实用新型提出的装置可实时监测划片刀侧弯变形状况,可实时发现划片刀侧弯变形的异常,避免侧向弯曲变形带来的晶圆的切割损坏,提高切割质量。

主权项:1.一种检测划片刀侧弯变形的装置,其特征在于,包括:涡电流传感器,设置于划片机刀体架外侧,包括探头和前置处理器,所述探头和前置处理器之间电连接;所述探头正对划片刀的刀刃面区域,所述前置处理器用于将所述探头的电信号转换为距离信号;显示器和报警器,分别与所述前置处理器的输出电连接。

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权利要求:

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