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单晶炉水冷套和单晶炉 

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申请/专利权人:西安芯晖设备技术有限公司

摘要:本实用新型提供一种单晶炉水冷套和单晶炉。单晶炉水冷套包括环形的法兰盘,所述法兰盘的第一底面设置有筒状的水冷组件,所述第一底面与单晶炉的开口相适配,且所述第一底面设置于单晶炉的开口处时,所述水冷组件伸入单晶炉内,所述法兰盘的第二底面用于与单晶炉的阀盖连接,所述第一底面为所述相背的第二底面。本实用新型实施例通过提供的水冷套,通过设置法兰盘,能够与单晶炉的开口和阀盖相配合,在适配单晶炉使用的情况下,可以通过水冷组件实现对单晶炉内温度的调节,提高了温度调节效果。

主权项:1.一种单晶炉水冷套,其特征在于,包括环形的法兰盘,所述法兰盘的第一底面设置有筒状的水冷组件,所述第一底面与单晶炉的开口相适配,且所述第一底面设置于单晶炉的开口处时,所述水冷组件伸入单晶炉内,所述法兰盘的第二底面用于与单晶炉的阀盖连接,所述第一底面和所述第二底面分别为所述法兰盘相背的两个底面。

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权利要求:

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