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申请/专利权人：深圳市纳设智能装备股份有限公司
摘要：本申请提出了一种加热装置，用于加热薄膜沉积所需的气体，包括：密封腔体；进口，设置在密封腔体上，以使气体流进密封腔体；出口，设置在密封腔体上，以使气体流出密封腔体；加热件，设置在密封腔体内，用于加热气体，从而可见，气体进入密封腔体与加热件直接接触，提高气体加热速率。
主权项：1.一种加热装置，其特征在于，用于加热薄膜沉积所需的气体，包括：密封腔体；进口，设置在所述密封腔体上，以使气体流进所述密封腔体；出口，设置在所述密封腔体上，以使气体流出所述密封腔体；加热件，设置在所述密封腔体内，用于加热气体；气阻件，设置在所述密封腔体内，所述气阻件具有阻挡面，以降低气体在所述密封腔体中的流速。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市纳设智能装备股份有限公司 一种加热装置
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