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申请/专利权人：嘉兴合浙兴光电传感技术有限责任公司
摘要：本发明公开了一种基于动态模式复用的多参量测试的硅光传感器，由硅光可调滤波器、硅光多阶模式复用解复用器、硅光传感器阵列构成。硅光可调滤波器包括三列可调级联微环滤波器和微环上面覆盖的金属加热电极；硅光多阶模式复用解复用器将可调滤波器和硅光传感器阵列连接，硅光多阶模式复用解复用器是由不同宽度的纯硅波导构成，再利用锥形波导将不同宽度波导连接一起；硅光传感器阵列由三个不同的微环谐振器组成，负责实现传感器不同的功能，本发明充分利用了硅光波导的动态多阶模式分时复用技术，把它引入生物传感器中，极大地拓展传感器的通路数量，实现了对大规模参量探测的片上多参量硅光传感器。
主权项：1.一种基于动态模式复用的多参量测试的硅光传感器，其特征在于：包括硅光可调滤波器阵列I、硅光多阶模式复用器II、硅光多阶模式解复用器Ⅲ、硅光传感器阵列Ⅳ以及硅光多阶模式复用器Ⅴ，硅光可调滤波器阵列I通过第一波导2、第二波导3、第三波导4与上方的硅光多阶模式复用器II连接，所述的硅光多阶模式复用器II通过第四波导5与右侧硅光多阶模式解复用器Ⅲ连接，所述的硅光多阶模式解复用器Ⅲ通过第五波导6、第六波导7、第七波导8与下方硅光传感器阵列Ⅳ连接，所述的硅光传感器阵列Ⅳ通过第八波导9、第九波导10、第十波导11连接下方硅光多阶模式复用器Ⅴ后由输出波导12连接光栅耦合器输出到探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嘉兴合浙兴光电传感技术有限责任公司 一种基于动态模式复用的多参量测试的硅光传感器
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