龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏应材微机电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体、炉盖和底座，炉盖呈水平设置在炉体的顶端，并与炉体可拆卸连接，底座呈水平安装在炉体的底部，底座还包括旋转轴套、外齿、清料机构、齿轮和电机B，旋转轴套嵌套设置在底座的顶部，并与底座转动连接，外齿呈环状分布在旋转轴套的侧壁，该种带有清料装置的化学气相沉积炉将清料机构集成在炉内，且采用隐藏式设计，当需要清料时，则将清料机构启动，并配合旋转轴套实现快速清料作业，清料效率高，同时清料过程无需打开炉盖，不会造成热量和有害气体逸散，能够为下一次反应保留余热，提高能源利用率。
主权项：1.一种带有清料装置的化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉体1、炉盖2和底座3，所述炉盖2呈水平设置在炉体1的顶端，并与所述炉体1可拆卸连接，所述底座3呈水平安装在炉体1的底部，所述底座3还包括旋转轴套31、外齿32、清料机构33、齿轮35和电机B36，所述旋转轴套31嵌套设置在底座3的顶部，并与所述底座3转动连接，所述外齿32呈环状分布在旋转轴套31的侧壁，并与所述旋转轴套31焊接，所述底座3的顶部中间位置设有凹槽34，所述清料机构33贯穿设置旋转轴套31的外壁并延伸至凹槽34内部，且所述清料机构33与旋转轴套31通过螺丝固定连接，所述电机B36嵌入安装在底座3的内部边缘位置，所述齿轮35呈水平设置在底座3的顶部边缘位置，且所述齿轮35与电机B36驱动连接，所述清料机构33包括清料盒331、安装座332、电机A333、接口B334、旋转盘335和软管336，所述电机A333呈水平安装在安装座332的一侧，所述旋转盘335呈相对设置在电机A333的对侧，并与所述电机A333驱动连接，所述清料盒331呈水平设置在旋转盘335的一侧，并与所述旋转盘335固定连接，所述接口B334贯穿安装在安装座332的侧壁，所述软管336位于清料盒331与接口B334之间，且所述接口B334与清料盒331的内部通过软管336连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏应材微机电科技有限公司 一种带有清料装置的化学气相沉积炉
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号