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一种通用硅材目检装置 

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申请/专利权人:合盟精密工业(合肥)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种通用硅材目检装置,涉及硅材目检技术领域,包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台,所述旋转件与所述底座转轴承连接,所述检验平台与所述旋转件滑动连接。所述检验平台包括若干块扇形的检验板,每一块所述检验板均与所述旋转件滑动连接,若干块所述检验板滑动聚拢时拼接成一个圆板,若干块所述检验板通过连接件连接,若干块所述检验板同步滑动。本方案将检验平台设置为可以移动式,通过设置若干块检验板,检验板可以在旋转件上进行滑动,以实现检验平台的尺寸调节,满足不同规格的硅材检测,相较于固定尺寸的检验平台,本方案的目检装置通用性较高,满足多种规格硅材检测,硅片和硅环同时适用,降低检测成本。

主权项:1.一种通用硅材目检装置,其特征在于:包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台,所述旋转件与所述底座转轴承连接,所述检验平台与所述旋转件滑动连接;所述检验平台包括若干块扇形的检验板,每一块所述检验板均与所述旋转件滑动连接,若干块所述检验板滑动聚拢时拼接成一个圆板,若干块所述检验板通过连接件连接,且在所述旋转件上同步滑动。

全文数据:

权利要求:

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