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申请/专利权人：晶丰芯驰(上海)半导体科技有限公司;宁波晶丰芯驰半导体材料有限公司
摘要：本实用新型提供了一种碳化硅外延生长环形夹具，所述碳化硅外延生长环形夹具包括带平边的第一弧形件和不带平边的第二弧形件，所述第一弧形件和所述第二弧形件可拆卸连接；将碳化硅外延生长环形夹具的平边与圆边分开，使得在取放片的时候可以将带平边的第一弧形件拿开，然后再使用吸笔进行操作，可以有效避免碰到环形夹具平面上的沉积物，有效降低碳化硅外延晶片掉落物数量。
主权项：1.一种碳化硅外延生长环形夹具，其特征在于，所述碳化硅外延生长环形夹具包括带平边的第一弧形件和不带平边的第二弧形件，所述第一弧形件和所述第二弧形件可拆卸连接。
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