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晶体制造感应加热组件和感应器组件 

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申请/专利权人:通快许廷格两合公司

摘要:一种用于感应加热负载10的感应器组件1,可连接至感应激励组件2,包括:a感应器12,其分为多个尤其串联连接的感应器区段5、6,所述感应器区段5、6设置成布置在要加热的负载10附近,从而使得在该负载10中通过所述感应器区段5、6可感应出能加热该负载10的电流;b阻抗7,其与两个感应器区段5、6的连接点9连接;c与所述阻抗7连接的控制装置8、尤其开关装置,其设置成使得它能够影响通过所述感应器区段中的一个感应器区段6的电流。利用这种组件可在温度或功率输出方面控制或调节所述负载的布置在可受控制装置影响的感应器区段附近的部分区域。

主权项:1.一种用于对设计为晶体制造装置的负载10中的熔化过程进行感应加热的晶体制造感应加热组件,包括:a所述负载10;b感应器12,所述感应器分为多个感应器区段,所述感应器区段布置在待加热的负载10附近,从而使得在所述负载10中通过所述感应器区段能够感应出电流,所述电流适合于加热所述负载10,其中通过所述感应器区段中的一个感应器区段的电流能够受到影响;以及c控制装置8,所述控制装置与两个感应器区段的连接点9连接,其中所述控制装置8构造成使得流经另一个感应器区段的电流的一部分能够分支到阻抗7。

全文数据:

权利要求:

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