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申请/专利权人:深圳大学
摘要:本实用新型公开了一种基于腔光机械效应的气体分子质量感测系统,包括光激励光检测装置和纳米腔光谐振器,所述光激励光检测装置与所述纳米腔光谐振器相连接;所述纳米腔光谐振器包括FP干涉仪,所述FP干涉仪包括多孔介质薄膜,所述多孔介质薄膜的孔径小于所述待测气体的分子平均自由程。该气体分子质量感测系统可实现气体分子质量的感测,具有抗电磁干扰、微型化、高灵敏度、实时可视化监测等优势。
主权项:1.一种基于腔光机械效应的气体分子质量感测系统,包括光激励光检测装置和纳米腔光谐振器,所述光激励光检测装置与所述纳米腔光谐振器相连接;其特征在于,所述纳米腔光谐振器包括FP干涉仪,所述FP干涉仪包括多孔介质薄膜,所述多孔介质薄膜的孔径小于待测气体的分子平均自由程。
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百度查询: 深圳大学 一种基于腔光机械效应的气体分子质量感测系统
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