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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶粒回收装置，包括回收盒和回收吸嘴，回收盒的一侧连通有回收管、另一侧连通有真空气管，回收盒内竖直设有过滤网，过滤网将回收盒内部分隔为回收腔和过滤腔，真空气管的连接在过滤腔对应的侧壁上。回收吸嘴设置在回收管的末端。应用上述实施例的实用新型，可以自动对叠晶、立晶和脱落晶粒的异常进行去除，代替人工，提高回收效率，具体地，本实用新型利用过滤网将回收盒分为回收腔和过滤腔两部分，过滤网能够有效阻挡晶粒和其他杂物进入真空气管，避免真空气管堵塞，保证回收工序的正常进行。
主权项：1.一种晶粒回收装置，其特征在于，包括：回收盒101，所述回收盒101的一侧连通有回收管103、另一侧连通有真空气管104，所述回收盒101内竖直设有过滤网105，所述过滤网105将所述回收盒内部分隔为回收腔106和过滤腔107，所述真空气管104的连接在所述过滤腔107对应的侧壁上；以及回收吸嘴102，所述回收吸嘴102设置在所述回收管103的末端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 一种晶粒回收装置
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