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一种减少异质结电池PECVD后PL发黑误判的装置 

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申请/专利权人:眉山琏升光伏科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种减少异质结电池PECVD后PL发黑误判的装置,包括传送线,传送线的上方设有PL检测仪器,还包括冷却容器,冷却容器与冷量输送管连通,冷量输送管上设有与传送线相对的喷嘴。本实用新型的有益效果:通过将冷却介质放入冷却容器中,打开阀门,通过喷嘴向硅片喷射冷量,使硅片降温,从而避免高温硅片影响PL检测,提高生产良率;冷却介质采用干冰,干冰的挥发速度较慢,且不影响生产环境氧气浓度,不存在副作用;另外干冰价格很便宜,作为冷却介质经济实惠,干冰在挥发过程中,不会扬尘,不会导致粉尘附着在硅片上,不增加后道工序的不良。

主权项:1.一种减少异质结电池PECVD后PL发黑误判的装置,包括传送线4,传送线4的上方设有PL检测仪器3,其特征在于:还包括冷却容器5,冷却容器5与冷量输送管9连通,冷量输送管9上设有与传送线4相对的喷嘴6。

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权利要求:

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