龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，用于去除附着于基板的微粒。基板处理装置通过处理液来对基板进行处理。基板处理装置具备：保持部，其用于保持所述基板；液供给部，其向被保持于所述保持部的所述基板的表面供给所述处理液；以及电压施加部，其将所述基板作为一个电极来对所述处理液施加电压以使所述处理液发生电解，由此在所述基板的表面产生气泡。
主权项：1.一种基板处理装置，通过处理液来对基板进行处理，所述基板处理装置具备：保持部，其用于保持所述基板；液供给部，其向被保持于所述保持部的所述基板的表面供给所述处理液；以及电压施加部，其将所述基板作为一个电极来对所述处理液施加电压以使所述处理液发生电解，由此在所述基板的表面产生气泡。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号