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申请/专利权人：昆山一鼎工业科技有限公司
摘要：本发明属于晶圆化学镀铂技术领域，特别涉及一种化学镀铂溶液、其配制方法及其在晶圆化学镀铂中的应用。本发明的化学镀铂溶液包括：环状铂盐、还原剂、络合剂、导电盐、缓冲剂、pH调节剂和超纯水；环状铂盐的浓度为，以铂计，1~15gL；环状铂盐：还原剂：络合剂的质量比为1：（0.7~1.9）：（1.9~4.4）；还原剂为二氧化硫脲；络合剂为能够与铂（II）形成环状络合物的二氨基化合物；导电盐为羧酸铵类化合物；缓冲剂为多元羧酸盐类化合物；pH调节剂被配置为：在化学镀时，调节所述化学镀铂溶液pH值为9.5~10.5；在不需要化学镀时，调节所述化学镀铂溶液pH值为7。
主权项：1.一种化学镀铂溶液，其特征在于，包括：环状铂盐、还原剂、络合剂、导电盐、缓冲剂、pH调节剂和超纯水；其中：所述环状铂盐的浓度为，以铂计，1~15gL；环状铂盐：还原剂：络合剂的质量比为1：（0.7~1.9）：（1.9~4.4）；所述还原剂为二氧化硫脲；所述络合剂为能够与铂（II）形成环状络合物的二氨基化合物；所述导电盐为羧酸铵类化合物；所述缓冲剂为多元羧酸盐类化合物；所述pH调节剂被配置为：在化学镀时，调节所述化学镀铂溶液pH值为9.5~10.5；在不需要化学镀时，调节所述化学镀铂溶液pH值为7。
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权利要求：
百度查询： 昆山一鼎工业科技有限公司 化学镀铂溶液、其配制方法及其在晶圆化学镀铂中的应用
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