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申请/专利权人：特里纳米克斯股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于从对象的图案图像中提取该对象的材料信息的方法。接收当用光图案照射对对象进行照射时示出对象的图案图像。操纵图案图像以从图案图像生成部分图像。通过将部分图像提供给数据驱动模型来从部分图像中提取对象的材料信息。该数据驱动模型是根据包括部分图像和材料信息的训练数据集来进行参数化的。提供所提取的材料信息。
主权项：1.一种用于从对象的图案图像中提取该对象的材料信息的计算机实施的方法，其中，该方法包括：接收当用光图案对该对象进行照射时示出该对象的图案图像；操纵该图案图像以从该图案图像生成部分图像；通过将该部分图像提供给数据驱动模型来从该部分图像中提取该对象的材料信息，其中，该数据驱动模型是根据包括部分图像和材料信息的训练数据集来进行参数化的；提供所提取的材料信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 特里纳米克斯股份有限公司 用于材料信息确定的图像操纵
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