买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：北京信息科技大学

摘要：本发明公开了一种低耦合MEMS柔性测量单元，该低耦合MEMS柔性测量单元包括柔性底层、柔性敏感层、和柔性上盖；柔性敏感层由基底层和基底层上表面的金属层组成，金属层包括一个加热器和四对热敏电阻；柔性敏感层上表面设置有一个加热器和四对热敏电阻，加热器由四个加热器丝组成，在加热器丝和热敏电阻丝之间以及热敏电阻和热敏电阻之间有切割出的腔体，在加热器丝的间隙有切割出的腔体，在热敏电阻丝的间隙和电极之间有切割出的腔体；本发明继承了MEMS惯性器件的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。这种测量单元具有测量Z轴角速度、X轴加速度、Y轴加速度等多种功能，且交叉耦合较低。本发明采用柔性基底，柔性材料能够吸收外部振动和冲击，有助于提高测量单元的稳定性和可靠性。同时柔性材料可以弯曲和形变，以此满足测量单元的柔性结构需求，实现曲面测量的目的。

主权项：1.一种低耦合MEMS柔性测量单元，其特征在于，包括柔性底层、柔性敏感层和柔性上盖，其中，所述柔性敏感层由基底层和基底层上表面的金属层组成，金属层包括一个加热器和四对热敏电阻；柔性敏感层上表面设置有一个加热器和四对热敏电阻，加热器由四个加热器丝组成，在加热器丝和热敏电阻丝之间以及热敏电阻和热敏电阻之间有切割出的腔体，在加热器丝的间隙有切割出的腔体，在热敏电阻丝的间隙和电极之间有切割出的腔体；定义所述柔性敏感层的长宽方向分别为X，Y方向，柔性敏感层的高度方向为Z方向，加热器放置于中心位置；所述加热器相对于Y轴对称，与X轴垂直；所述热敏电阻其中两对与X轴垂直，另外两对与Y轴垂直，四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于加热器两侧；所述加热器由四个加热器丝组成，两两串联之后，两两并联；所述加热器的两端沿着X方向覆盖对称的电极，形成加热的热源;所述热敏电阻的一端沿着X方向设置电极，一端沿着Y方向设置电极；加热器的通电方式为周期式推挽式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间；所述加热器由一个方波信号驱动，脉冲占空比为50％；所述热敏电阻的通电方式为恒流电；所述柔性上盖刻有上空腔，与柔性敏感层、柔性底层紧密相连形成一个密封的工作空间；柔性敏感层上表面空腔与柔性上盖上空腔的深度为总的腔体，其高度为z，500μm≤z≤1000μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京信息科技大学 一种低耦合MEMS柔性测量单元