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基于双通道分区投影的透明元件双表面偏折测量方法 

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申请/专利权人:奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

摘要:本发明公开了基于双通道分区投影的透明元件双表面偏折测量方法,属于偏折测量技术领域,本发明对双通道测量系统进行联合标定,通过对折射通道中透明元件进行光线追迹定位,基于双通道测量系统标定与工件定位参数,对被测元件名义模型进行追迹实现屏幕分区,并以此为指导设计两套分区序列投影条纹来避免反射信号的混叠。测量时,通过交替投影所设计的非满占空比条纹获得透明元件上下表面未混叠的反射信号,进而通过双目确定待测点与屏幕和相机的对应关系,最后通过梯度积分获取几何面形,解决了透明元件在偏折测量中双表面信号混叠的问题。

主权项:1.基于双通道分区投影的透明元件双表面偏折测量方法,基于双表面偏折测量系统实现,双表面偏折测量系统包括相机(1)、相机(2)和屏幕(3),其特征在于,包括如下步骤:通过折射通道对透明元件进行定位,通过设计分区条纹图案避免双表面信号混叠以及通过灵敏度不同的双目对透明元件双表面同时重建。

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权利要求:

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