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申请/专利权人：杭州嘉悦智能设备有限公司
摘要：本发明涉及一种导流管安装结构及氧化亚硅生产设备。该导流管安装结构包括炉体、调平组件、坩埚以及导流管，调平组件包括坩埚托盘以及多根调平柱，各调平柱底端与炉体螺纹连接，顶端承托坩埚托盘，坩埚设置于坩埚托盘；坩埚侧面沿水平方向贯通开设有导流孔，导流管通过导流孔插入至坩埚内，且导流管外周面与导流孔内壁过渡配合，导流管插入坩埚一端具有环形的导向面，导向面的直径沿远离坩埚的方向逐渐增大至与导流管外周面的直径相等；上述两处结构的协同作用能够保证导流管外周面与导流孔的内壁在安装完成后紧密贴合，从而在降低导流管安装难度的同时，还提高了安装完成后的密封效果，有效避免了加热过程中的因泄漏导致实验失败的问题。
主权项：1.一种导流管安装结构，其特征在于，包括炉体（10）、调平组件（20）、坩埚（30）以及导流管（40），所述调平组件（20）包括坩埚托盘（21）以及多根调平柱（22），各所述调平柱（22）底端与所述炉体（10）螺纹连接，顶端承托所述坩埚托盘（21），所述坩埚（30）设置于所述坩埚托盘（21）；所述坩埚（30）侧面沿水平方向贯通开设有导流孔（31），所述导流管（40）通过所述导流孔（31）插入至所述坩埚（30）内，且所述导流管（40）外周面与所述导流孔（31）内壁过渡配合，所述导流管（40）插入所述坩埚（30）一端具有环形的导向面（41），所述导向面（41）的直径沿远离所述坩埚（30）的方向逐渐增大至与所述导流管（40）外周面的直径相等。
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