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申请/专利权人：西安热工研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种三层套刻结构的高温超导薄膜的制备方法和应用，包括，首先制备图形化的底层YBCO超导薄膜，然后在底层图形化YBCO薄膜基础上继续外延生长具有两个微孔窗口的绝缘层薄膜，最后制备顶层YBCO线条连结两个微孔窗口，利用两个微孔窗口构建顶层和底层YBCO超导连结的通道，并期望除了微孔以外被绝缘层覆盖的其他区域能够达到对上下层超导薄膜绝缘的目的。该种结构可以实现顶层和底层超导仅仅通过中间微孔连通，不会造成短路现象。
主权项：1.一种三层套刻结构的高温超导薄膜的制备方法，其特征在于：包括，配制紫外感光的YBCO溶胶，运用紫外掩模法在衬底材料上制备第一层YBCO薄膜的微细图形，再经过800～830℃的热处理和渗氧处理，得到YBCO微细图形的超导薄膜；配制紫外感光的Y2O3溶胶，运用紫外掩模法在第一层YBCO微细图形上套刻第二层Y2O3薄膜的微细图形，再经过770～800℃的热处理得到Y2O3微细图形的超导薄膜；在第二层Y2O3微细图形上套刻第三层YBCO薄膜的微细图形，再经过740～770℃的热处理和渗氧处理得到一种三层套刻结构的高温超导薄膜。
全文数据：
权利要求：
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