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一种通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法 

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申请/专利权人:南京航空航天大学

摘要:本发明提供一种通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法,涉及透射电镜电子损失能量谱成像技术领域。该通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法,包括以下步骤:1按照透射样品制备的方式,准备一个厚度在50nm左右的样品;2对样品进行EELSSI采集,连续采集多帧SIs的核损失光谱;3依据GIF量子能量滤波器的四种调控方法:TEM高压偏移、棱镜偏移、棱镜调节和漂移管电压偏移实现能量偏移,在能量偏移调控后连续采集多帧SIs的核损失光谱。该方法通过能量偏移,避免采集连续的EELSSI时在相机同一像素点的曝光而导致增益归一化误差的放大,有效地抑制探测器暗电流所带来的噪声,对能量损失近阈精细结构的研究提供了新的可能性。

主权项:1.一种通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法,其特征在于,包括以下步骤:1按照透射样品制备的方式,准备一个厚度在50nm左右的样品;2对样品进行EELSSI采集,连续采集多帧SIs的核损失光谱;3依据GIF量子能量滤波器的四种调控方法:TEM高压偏移、棱镜偏移、棱镜调节和漂移管电压偏移实现能量偏移,在能量偏移调控后连续采集多帧SIs的核损失光谱。

全文数据:

权利要求:

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