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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开了一种三明治结构分子反应传感器的制备方法及应用。本发明首先使用聚焦氦离子束铣削Si3N4SiO2Si3N4薄膜芯片表面得到纳米通孔，然后用缓冲氧化物蚀刻剂蚀刻SiO2薄膜层，最后用高能电子束在两层Si3N4薄膜的纳米通孔处诱导沉积碳氢化合物，使得第一层和第三层Si3N4薄膜的纳米通孔缩小至合适尺寸，并使用基于上述方法制备得到的分子反应传感器检测分子间的相互作用。通过本发明的制备方法可制备出适用于不同体积分子的孔‑腔‑孔三明治结构分子反应传感器，该分子反应传感器可实时记录不同体积分子间相互化学作用，为深入理解DNA水平的生物学过程和疾病机制提供了有力工具。
主权项：1.一种用于检测分子之间相互作用的三明治结构分子反应传感器，其特征在于，包括依次层叠的第一Si3N4薄膜层、SiO2薄膜层和第二Si3N4薄膜层；所述第一Si3N4薄膜层、SiO2薄膜层和第二Si3N4薄膜层的厚度均为18～22nm；所述第一Si3N4薄膜层和第二Si3N4薄膜层上分别设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔表面沉积有碳氢化合物层；所述SiO2薄膜层设有空腔，所述空腔的直径为所述第一通孔和所述第二通孔的直径的5～20倍；所述第一通孔、空腔和第二通孔相连通，形成使待检测分子通过所述三明治结构分子反应传感器的通道。
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权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种三明治结构分子反应传感器的制备方法及应用
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