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申请/专利权人：昆明理工大学

摘要：本发明涉及一种基于红外显微数字全息的磷锗锌晶体缺陷检测装置及方法，红外激光器发出激光源，经过分光棱镜I分为两束激光，第一束经分光棱镜I、扩束镜、针孔滤波器、傅里叶透镜I、全反镜I、分光棱镜II，称为参考光束；第二束光透过分光棱镜I，到达全反镜II后被反射，透射放置于红外窗口I与红外窗口II之间的待测磷锗锌晶体，经过显微镜、傅里叶透镜II、分光棱镜II后，称为物光束。两光束在分光棱镜II上相遇并发生干涉得到全息图，由计算机完成全息图滤波再现及相位重建。本发明充分利用了磷锗锌晶体可透中红外激光的特性，并与高精度、无损的全息测量方法相结合，能有效的弥补现有方法的不足。

主权项：1.基于红外显微数字全息的磷锗锌晶体缺陷检测装置，其特征在于：包括外层保护壳18，外层保护壳18内设有红外激光器1，分光棱镜I2、分光棱镜II12、衰减片I3、衰减片II4、全反镜I6、全反镜II13、扩束镜I5、针孔滤波器9、傅里叶透镜I10，傅里叶透镜II19，红外窗口I7，红外窗口II8，显微镜11、红外图像传感器14、电驱滑轨I15、电驱滑轨II16、计算机17；红外激光器1发出激光源，经过分光棱镜I2分为两束激光，第一束激光经分光棱镜I2反射，依次经过衰减片I3、扩束镜I5、针孔滤波器I9和傅里叶透镜I10后成为平行光束，该平行光束到达全反镜II13后被反射到达分光棱镜II12，作为参考光束；第二束激光作为物光束，透过分光棱镜I2，经过衰减片II4，到达全反镜I6后被反射,经过红外窗口I7，再透射经过红外窗口II8，透射光束经过显微镜11进行放大，到达傅里叶透镜II19，透射过傅里叶透镜II19后变为平行光束，而后到达分光棱镜II12，红外窗口I7与红外窗口II8之间为晶体缺陷检测区域；参考光束及物光束在分光棱镜II12上相遇并发生干涉得到全息图，全息图被红外图像传感器14接收并记录，称为红外数字全息图；红外图像传感器14安装在电驱滑轨I15、电驱滑轨II16上，用于调整红外图像传感器14位置，红外图像传感器14及电驱滑轨I15、电驱滑轨II16均与计算机17连接，所记录的红外数字全息图保存在计算机17中。

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